


量程翻倍!芯明天2mm量程電容測微儀C2D18,精準丈量微納世界
電容測微儀是一種基于電容傳感原理的高精度測量儀器,主要用于微小位移、厚度、間隙、振動等物理量的非接觸式檢測,廣泛應用于精密制造、半導體、光學技術、航空航天等對測量精度要求高的領域,是壓電納米定位、微納加工設備等的關鍵配套測量部件。芯明天新品C2D18電容測微儀,具備2mm大行程測量能力,在量程實現突破的同時,始終堅守納米級測量精度,兼顧寬量程與高精度核心需求。
一、新品推薦:2mm量程電容測微儀C2D18
電容測微儀通過將被測物理量,如微小位移的變化轉化為電容值的變化,再經信號處理電路將電容變化轉換為可讀取的電信號,從而實現對微小量的精確測量。其測量分辨率可達到納米級,是微納尺度測量中的核心工具之一。
在現有電容測微儀產品線基礎上,我們新增2mm量程電容測微儀C2D18,進一步完善了從100μm到2mm的全量程覆蓋。該產品旨在為高端精密加工、壓電定位系統配套、工業檢測及科研實驗等多場景,提供范圍更廣的納米級感知能力,為大行程微小量測量提供更全面的方案,同時讓整體測量方案的靈活性與適配性更趨完善。

新品三大核心優勢:
? 1.量程突破,覆蓋更廣場景:2mm超大量程較原有的1mm大量程產品實現翻倍拓展,無需頻繁更換設備,即可滿足從微米級到毫米級的多尺度測量需求,適配更廣泛的精密檢測場景。
? 2.精度堅守,延續納米級性能:分辨率與重復性保持納米級水準,通過優化設計有效抵消溫度漂移、電磁干擾等環境影響,確保測量穩定性;即使在2mm全量程范圍內,線性度依然維持納米級精度。
? 3.適配壓電定位全場景:可與芯明天壓電納米定位臺、控制器兼容,形成“定位-測量-閉環修正”一體化解決方案,生態協同性強;響應時間快,能**匹配動態閉環控制需求。
二、電容測微儀的應用領域
電容測微儀憑借納米級精度、非接觸測量、快速響應和高穩定性等獨特優勢,已成為現代精密測量領域的核心工具,廣泛應用于對精度要求極高的多個行業:
1、半導體與微電子產業
晶圓加工全流程監控:晶圓厚度與翹曲度測量、表面缺陷分析、掩膜版定位、晶圓臺多軸位移反饋;
芯片封裝與測試:封裝層間對準、芯片鍵合壓力與間隙控制等。
2、精密光學技術
光學元件制造:鏡片曲率、平行度、中心厚度的測量,光學元件鍍膜厚度控制,光學棱鏡角度校準,OLED面板厚度均勻性檢測,玻璃基板翹曲度測量等。
3、精密制造領域
超精密加工與監測:機床主軸回轉精度檢測、精密導軌直線度測量、模具的磨損度監測、微納結構位移、形變與振動檢測等。
4、航空航天領域
飛行器制造:機身尺寸的精密測量、復合材料層間間隙檢測、核心部件如航空發動機葉片振動分析、航天器太陽能帆板展開狀態監測等。
5、汽車與能源裝備
汽車制造質量控制:剎車盤厚度變化檢測、發動機缸體平面度測量;
新能源設備制造:鋰電池極片厚度測量,燃料電池膜電極組件厚度檢測,風電葉片形變監測等。
6、科研與通用測量
設備配套:可作為掃描探針顯微鏡、共聚焦顯微鏡等設備的樣品臺位置監測傳感器,擴展設備縱向測量量程;
材料與環境測試:復合材料彈性模量測試、疲勞試驗微小形變監測,真空、低溫、強磁場等特殊環境下的位移檢測與無干擾精密定位等。
芯明天電容測微儀適用于高精度定位、角度/直線振動測量、厚度檢測、旋轉機械間隙測量、跳動測量、自動對焦或調零、介電常數測量、天文望遠鏡鏡片定位、外徑測量、形變測量等。

三、芯明天電容測微儀核心特點
1.超高精度與分辨率
測量分辨率可達納米級,測量精度高,能滿足微納尺度測量的嚴苛需求。
2.非接觸式測量
測量過程中傳感器與被測物體無機械接觸,不會對被測表面造成劃傷、磨損,也不會因接觸力導致測量誤差,適合脆弱工件、柔性材料或高速運動物體的測量。
3.響應速度快
電容變化的檢測不受機械慣性影響,信號處理電路的響應時間可達微秒級,能實時捕捉動態變化如微小振動、高速位移等,可用于動態測量和閉環控制場景。
4.穩定性好,抗干擾能力強
能有效抵消溫度漂移、電源波動等環境干擾;電容傳感器結構穩定、無易損件,長期使用穩定性高,維護成本低。
5.測量范圍靈活
CxxDxx全系列電容測微儀量程覆蓋100μm~2mm,實現從微米級到毫米級的大范圍測量,既能滿足微納加工的微小位移測量,也能適配精密機械的間隙檢測。
6.適配多種被測材質
當被測物體具有一定的導電性且滿足條件時,均可進行測量,不受材質影響,適配金屬、半導體、玻璃、陶瓷等多種材料的精密檢測。

四、芯明天電容測微儀全系列產品矩陣
1)傳感探頭
我們提供完整的電容測微儀產品線,以滿足不同精度、量程和動態性能的需求。
柱形電容傳感器

| 型號 | C2D18 |
| 量程范圍 | 2000μm |
| 靜態分辨率 | 20nm |
| 動態分辨率(1kHz) | 800nm |
| 線性度 | 800nm |
| 重復度 | 40nm |
| 探頭尺寸 | φ18×18.5mm |

| 型號 | C01D10 | C02D10 | C05D10 | C1D10 |
| 量程范圍 | 100μm | 200μm | 500μm | 1000μm |
| 靜態分辨率 | 1.25nm | 2.5nm | 5nm | 10nm |
| 動態分辨率(1kHz) | 50nm | 100nm | 200nm | 400nm |
| 線性度 | 50nm | 100nm | 200nm | 400nm |
| 重復度 | 2.5nm | 5nm | 10nm | 20nm |
| 探頭尺寸 | φ10×18.5mm | |||
方形電容傳感器

| 型號 | C02F13 |
| 量程范圍 | 200μm |
| 靜態分辨率 | 2.5nm |
| 動態分辨率(1kHz) | 100nm |
| 線性度 | 100nm |
| 重復度 | 5nm |
| 探頭尺寸 | 13×13×4.3mm^3 |
2)傳感控制器(信號處理)
E75系列單通道、小體積傳感控制器
E75系列單通道傳感控制器,采用單通道設計,結構精簡緊湊,小體積特性使其能靈活適配空間受限的多種場景。可適配多種型號電容測微儀,廣泛應用于單點位微小位移測量、小型壓電定位系統閉環控制等場景,為單通道高精度傳感需求提供高效、精準的解決方案。

E01系列模塊化、多通道傳感控制器
E01機箱式傳感控制器適配多型號電容測微儀,具備納米級測量分辨率,采用模塊化設計理念,支持1至12通道自由選配,可根據實際需求靈活組合,適用于多場景。同時提供臺式結構與板卡式插件兩種形態選擇,兼顧獨立使用的便捷性與系統集成的兼容性。

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